可視化監(jiān)控
實(shí)時(shí)監(jiān)控能源消耗及輔助材料的消耗及成本,按照介質(zhì)類型、區(qū)域、時(shí)間等分類透視能耗、材料用量的波動(dòng)。
多維度分析
對(duì)類半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),輔材的用量數(shù)據(jù)對(duì)工藝和質(zhì)量的影響非常關(guān)鍵。通過這些數(shù)據(jù)的監(jiān)控和分析,可提升工藝過程控制水平,提升生產(chǎn)的良率。
預(yù)測(cè)性維護(hù)
通過AI大數(shù)據(jù)分析,對(duì)設(shè)備、能耗、輔材用量進(jìn)行預(yù)測(cè)性運(yùn)維分析,提前運(yùn)維和供給部署。